Sub t()
  Const m& = 500000
  Dim a, b, c, d, e, f

  ReDim a(1 To m, 1 To 20) As Variant
  ReDim b(1 To m, 1 To 20) As Variant
  ReDim c(1 To m, 1 To 20) As Variant
  ReDim d(1 To m, 1 To 20) As Variant
  ReDim e(1 To m, 1 To 20) As Variant
  ReDim f(1 To m, 1 To 20) As Variant
End Sub

'этот ReDim, чтобы показать что на таких же размерах все работает. Он не нужен в программе, просто показываю, что если так указать, то все ок. Его я удалю. Поставил его после обнаружения ошибки. На нем ошибки нет
   ReDim nArray(1 To 1500000, 1 To 15) As Variant
    
'это основной ReDim, он будет и дальше. Он динамически расширяет массив в зависимост от размеров данных на листе, которые туда будут помещаться. 
       ReDim nArray(1 To LastRow, 1 To LastCol) As Variant

Sub test()
ReDim a(1000000, 30) As Byte
End Sub

Sub test()
ReDim a(1000000, 30) 
End Sub